超级重磅！国产光刻机龙头上海微电将借壳天沃科技上市！

上海电气集团旗下的国产光刻机龙头企业上海微电子近期在光刻机领域获得重大技术突破！上海微电子已确认放弃IPO上市从而转向借壳上市：同为上海电气集团旗下的天沃科技（002564）当仁不让必将成为上海微电子在A股借壳上市的平台！

——随着上海微电子在光刻机关键领域的技术突破，国产光刻机领域的发展已经到了非常重要的时间点。因此，上海微电子选择在当前这个时间点借壳上市，无疑是将天时、地利、人和集于一身！而作为在上海电气手上储备了三年多的壳资源，天沃科技（002564）当仁不让必将成为上海微电子在A股借壳上市的平台！

近两年国产芯运动正如火如荼开展，作为芯片制造中的必要设备，中国已经涌现出一些优秀光刻机企业，其中上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）作为我国光刻机领域的龙头企业，公司最近在光刻机关键技术领域又获得了重大突破！根据国外媒体（）最新的报道称，“中国国产28nm DUV光刻机计划在今年年底前从上海微电子（SMEE）生产出来，并在上海专有的生产线上为物联网设备制造48nm和28nm芯片。”另外预计在2023年，SMEE 20nm光刻技术将首先部署用于制造5G设备芯片。同时，上海微电子装备集团股份有限公司的光刻机研发经理罗晋，也在近日发表了一个名为《一种针对刚体结构的垂向三自由度运动控制装置的研究》的论文，这份论文的研究表明，该公司已经能够实现指定精度的垂向三自由度运动控制，而该技术用于高端光刻机。综合多个信息源来看，随着以上海微电子为首的中国光刻机研发企业在光刻机技术上的不断突破，相关产业链企业的加强合作芯片上市公司龙头，可生产28nm芯片的DUV光刻机已越来越近了！眼下，随着上海微电子在光刻机关键领域的技术突破，国产光刻机领域的发展已经到了非常重要的时间点。因此，上海微电子选择在当前这个时间点借壳上市，无疑是将天时、地利、人和集于一身！而作为在上海电气手上储备了三年多的壳资源，天沃科技（002564）当仁不让成为上海微电子在A股借壳上市的平台！

国产光刻机龙头企业上海微电子重大突破：今年年底将推出国产28nm DUV光刻机！因此，此前已撤回IPO申请的上海微电子尽快通过借壳实现A股上市成为当务之急！

根据上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）的官网介绍，公司主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

其中，在IC领域，目前上海微电子推出的最先进光刻机为SSX600系列步进扫描投影光刻机，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。

毫不夸张地说，上海微电子绝对是国内技术最领先的光刻设备厂商。目前公司IC前道光刻机水平与ASML差距明显，但是不断取得阶段性的成果，已经实现90 nm制程。公司已经实现从低端切入市场，在细分市场中具有高国内市场占有率。公司拥有先进的封装光刻机技术，目前已成为封测龙头企业的重要供应商，国内市场占有率高达80%，全球市场占有率达40%。公司LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先，LED光刻机市占率第一！

在强调产业链自主可控的当下，上海微电子扮演的角色越发重要。多位业内人士表示，国内厂商正在合力打造一条去美化的28纳米芯片制造产线，而光刻机是重中之重。有观点认为，国内厂商有望在2021年开发出可用于生产28纳米芯片的干式双工件台光刻机，并计划2022年开发出可用于生产28纳米芯片的浸没式双工件台光刻机！

同时，光源、光学系统和工件台系光刻机的三大核心组件，而国产可用于生产28纳米芯片的浸没式光刻光源、浸没式ArF曝光光学系统和浸没式双工件台均有望在2021年实现。

上海微电子的总经理贺荣明告诉记者，制造光刻机就是在微观世界里“造房子”——光刻机是一个由几万个精密零件、几百个执行器传感器、千万行代码组成的超复杂思维系统，它的内部运动精度误差不超过一根头发丝的千分之一。打个比喻，就像坐在一架超音速飞行的飞机上，拿着线头穿进另一架飞机上的针孔。由于它技术的超高难度以及系统的复杂性，导致光刻机在全世界形成了超高的技术门槛。

在十几年前有过这样一个“笑话”，国内有人前往德国进行技术考察，当时德国的工程师直接将光刻机的图纸给他看，他疑惑为什么这么核心的技术敢给他看，那位德国工程师直言“因为就算给你们全套图纸，你们也做不出来”。

那位出国考察的人就是上海微电子的总经理贺荣明，归国后的贺荣明深刻地体会到了那位工程师的话，造光刻机实在是太难了。

2002年，为实现“用中国人的光刻机造中国芯”的梦想，贺荣明带着几位满怀梦想的“战友”来到上海张江，承担起制造振兴国家民族的微电子装备产业，开始了艰难的光刻机研发之路。

然而，由于国内的相关行业处于一片空白，无论是专业人员还是配套的零件供应链，都让贺荣明无从下手。在这样的情况下，贺荣明深知，“唯一的出路就是走创新之路。”

如今，通过十几年的“卧薪尝胆”，上海微电子已经完全掌握了先进封装光刻机、高亮度LED光刻机等高端智能制造领域的先进技术。

从跟踪国际专利到不断掌握拥有完全自主知识产权的高端光刻设备的总体设计技术、集成技术和关键单元技术，上海微电子形成了系列完整的产品，实现了“用中国人的光刻机造中国芯”的梦想。截止2019年6月，公司专利申请总数共计3034项（授权1654项），其中国内专利申请2351项（授权1460项），国外专利申请683项（授权248项）。这些专利渗透在各个产品之中，为高科技产品走向世界提供自主知识产权的法律保障。

上海微电子的总经理贺荣明告诉记者，同样是光刻机，它在前道的产业化应用难度非常高，但是后道的先进封装对光刻机的应用越来越广泛，可以先行进入，所以上海微电子就抓住了这个契机，开发了一款适用于先进封装行业的光刻机。此前，这种光刻机完全依赖于进口，而今上海微电子已经占领了80%以上的国内市场！据不完全统计，现在市场上高端智能手机上都有上海微电子自主研发的先进封装光刻机的功劳。这样一来，产品的研发形成了一种阶梯、波浪，“前面在不断瞄准高科技的发展，同时它不断把掌握的技术辐射为具有应用前景又能为国民经济、产业领域提供很好技术支撑的产品，这样两个目标形成一种互动、良性循环。既通过高科技的研发来锤炼人才，又通过产品的市场化来打造工程性人才，这种人才的分合汇聚组合让公司向两维领域发展（一维是技术高度，一维是产业宽度），不让公司变为纯粹的研发机构，同时也不让公司太功利化。这两者融合能为公司将来高端光刻机的发展提供良好的发展模式。”贺荣明表示。

特别值得一提的是，根据国外媒体（）最新的报道称，“中国国产28nm DUV光刻机计划在今年年底前从上海微电子（SMEE）生产出来，并在上海专有的生产线上为物联网设备制造48nm和28nm芯片。”另外预计在2023年，SMEE 20nm光刻技术将首先部署用于制造5G设备芯片。

该报道还称，上海微电子管理层最近表示，“提高 48nm 和 28nm 的良率仍然是一个挑战，但 SMEE 技术现在拥有基本的本土 UV 能力，无需美国 IP 来制造芯片。”

搜索该网站关于SMEE的历史信息，可以看到，早在去年10月，verdict就曾报道称，“中国首台国产28nm光刻机预计2021年底前交付”。

此前的资料显示，该光刻机的光源激光系统、没式双工作台、液系统、透镜及曝光系统都已实现了国产化（由国内相关供应商提供），上海微电子则负责控制系统和总装。

另外一个非常关键的信息是，上海微电子的光刻机研发经理罗晋，在近日发表了一个名为《一种针对刚体结构的垂向三自由度运动控制装置的研究》的论文，这份论文的研究表明，上海微电子已经能够实现指定精度的垂向三自由度运动控制，而该技术用于高端光刻机！

综合多个信息源来看，随着以上海微电子为首的中国光刻机研发企业在光刻机技术上的不断突破，相关产业链企业的加强合作，可生产28nm芯片的DUV光刻机已越来越近了！

值得特别一提的是，在当前芯片自主化的大背景下，作为国产光刻机领域的龙头企业，上海微电子正在攻坚突破的光刻机项目，无疑是当前上海电气（集团）总公司整个业务板块的重中之重！

众所周知，光刻机项目的推进对于资金方面的需求无疑是非常迫切的，这一点从近两三年以来国内批量的芯片半导体企业纷纷在A股上市便可见一斑！因此，上海微电子的上市也成为当务之急！

根据公开资料，2018年1月2日，上海证监局发布上海微电子辅导备案基本情况表，显示中信建投证券担任上海微电子首次公开发行股票并上市的辅导券商。但是3年多过去了，上海微电子的IPO上市仍未有任何进展。据权威可靠消息称，上海微电子已经终止了IPO上市的申请，转而通过借壳实现上市！而且，上海微电子借壳上市的目标已经锁定，其借壳标的正是上海微电子的大股东上海电气（集团）总公司旗下控股的上市公司天沃科技（002564）！

同样是上海电气（集团）总公司旗下的企业，天沃科技（002564）当仁不让必将成为上海微电子在A股借壳上市的平台！

天沃科技（002564）原名“张化机”，主营业务包括清洁能源工程总承包、高端装备研发与制造、军民融合三大板块，涉及能源、环保、电力、装备、军工、船舶等国民经济重要产业领域。

2016年，化工装备行业景气下降，受经济增长下滑与下游行业需求减少等因素影响影响，天沃科技（002564）净利润亏损了3亿元。正是在2016年9月，天沃科技（002564）因筹划可能构成重大资产重组的资产收购事项临时停牌。2016年10月31日，天沃科技（002564）披露拟收购对象为中机国能电力工程有限公司80%股权。

资料显示，此前中机电力有意借壳*ST东晶（002199）实现上市，*ST东晶（002199）还曾于2016年4月停牌筹划重大资产重组，然而仅仅一个月不到，*ST东晶又公告不“卖壳”了。于是，中机电力又把目标转向了天沃科技（002564）。

因此，尽管天沃科技（002564）后来只收购了中机电力80%股权，但此桩收购仍被外界视为中机电力实现借壳上市。

中机电力并表后，天沃科技（002564）的营业收入主要来源由装备制造行业转变为工程服务行业，公司业绩也得以实现扭亏。

然而，在中机电力并表后，天沃科技（002564）的负债也大幅攀升。仅两年时间，天沃科技（002564）的负债总额就增长近四倍，资产负债率提升28.5个百分点。截至2017年末，天沃科技（002564）的应收账款及存货占当期流动资产的70.3%。

与此同时芯片上市公司龙头，天沃科技（002564）的实际控制人陈玉忠则不断通过减持股权套现。

正是在这样的背景下，上海电气（集团）总公司的旗舰上市企业上海电气（601727）入主了天沃科技（002564）。

2018年8月3日晚间，天沃科技（002564）发布公告称，公司控股股东陈玉忠及其一致行动人钱凤珠与上海电气（601727）签署了《股份转让协议》和《表决权委托协议》，将其合计持有的51,277,496股股票以6.83元/股的价格转让给上海电气，同时，陈玉忠先生将其持有的公司股份计131,290,074股对应的表决权委托上海电气行使。

由于上海电气（601727）在2018年6月参与认购了天沃科技（002564）非公开发行81,181,318股股份。因此，在该次权益变动后，上海电气直接持有天沃科技（002564）132,458,814股股票，占公司总股本的15.00%，通过表决权委托的形式取得公司131,290,074股股票的表决权，占公司总股本的14.87%，合计取得公司29.87%股权的表决权，成为天沃科技（002564）的控股股东，其实际控制人上海市国资委也因此成为天沃科技（002564）的实际控制人。

由此，天沃科技（002564）的原实际控制人陈玉忠可以说已经完全退出了天沃科技（002564），天沃科技（002564）也由此进入到了上海电气集团主导的时代！

值得一提的是，上海电气（601727）鉴于其将成为天沃科技（002564）的控股股东，为了支持天沃科技（002564）未来的业务发展，同意借款20亿元人民币给天沃科技（002564）用于其生产经营。

有市场观点认为，上海电气（601727）成为控股股东对天沃科技（002564）来说具有划时代的意义，本次交易完成后，天沃科技（002564）将从一家民营企业变身上海国资委体系内的上市平台，背靠上海电气集团和上海国资委这样的大树，公司未来在融资、技术研发、业务和市场开拓等方面都将有更多的资源可以利用，上海电气（601727）一上来就同意借款20亿元巨资给天沃科技（002564）发展业务，就是新任大股东实力的体现。

2020年2月20日，上海电气（601727）拟通过定增的方式认购天沃科技（002564）股份，进一步巩固控制权。如果这次定增成功，上海电气（601727）在天沃科技（002564）身上前前后后花了21亿元，不仅如此，上海电气（601727）还向天沃科技（002564）提供20亿借款和55.8亿元的担保额度，可谓全身投入。

那么，上海电气到底看中了天沃科技（002564）哪些优势？

种种迹象已充分显示，作为上海电气（集团）总公司的旗舰上市企业，上海电气（601727）入主天沃科技（002564）的深层次考虑，无疑就是为旗下的国产光刻机龙头企业上海微电子借壳上市作准备！

公开资料显示，上海电气（集团）总公司是中国最大的综合性装备制造企业集团之一，实控人为上海市国资委。目前，公司主营业务主要有四大板块，即新能源与环保设备、高效清洁能源设备、工业装备、现代服务业。

值得特别一提的是，在当前芯片自主化的大背景下，作为国产光刻机领域的龙头企业，上海微电子正在攻坚突破的光刻机项目，无疑是当前上海电气（集团）总公司整个业务板块的重中之重！

众所周知，光刻机项目的推进对于资金方面的需求无疑是非常迫切的，这一点从近两三年以来国内批量的芯片半导体企业纷纷在A股上市便可见一斑！因此，上海微电子的上市也成为当务之急！

事实上，上海电气（601727）在2018年入主天沃科技（002564）的时间点，恰好是上海微电子聘请中信建投证券担任上海微电子首次公开发行股票并上市的辅导券商的那个时间点！

可见，当时上海电气（集团）总公司便做好了两手准备，即IPO上市和借壳上市两条程序同时启动。如今，随着上海微电子IPO上市申请已经撤回，表明公司已经彻底放弃IPO上市的考虑，同时也标志着上海微电子借壳上市进入倒计时阶段！

天沃科技（002564）目前的市值仅30多亿，主营业务也不是特别突出，上海电气入主公司这几年来，也一直未对天沃科技（002564）进行大手笔的资产重组与整合，可见，天沃科技（002564）绝对是留着在关键时刻发挥作用！

眼下，随着上海微电子在光刻机关键领域的技术突破，国产光刻机领域的发展已经到了非常重要的时间点，如前文所述，综合当前多个信息源来看，随着以上海微电子为首的中国光刻机研发企业在光刻机技术上的不断突破，相关产业链企业的加强合作，可生产28nm芯片的DUV光刻机已越来越近了！

因此，上海微电子选择在当前这个时间点借壳上市，无疑是将天时、地利、人和集于一身！而作为在上海电气手上储备了三年多的壳资源，天沃科技（002564）当仁不让必将成为上海微电子在A股借壳上市的平台！