asml

EUV光刻机有三大核心技术，一块是曝光光源，也就是极紫外线的产生。在第一部分、第二部分这里，ASML是设置了坎的，其它厂商如果突破不了这个坎，就生产不了EUV光刻机出来。先说是曝光光源，也就是极紫外线，这里ASML先是收购了美国企业Cymer，后来又与德国的TRUMPF独家合作，这就保证了EUV光线的产生技术只有ASML有，不向ASML之外的厂商提供。